Vakuuminio dengimo mašinos veikimo principas

Vakuuminio dengimo mašina yra įtaisas, kuris nusodina plonas metalines plėveles ant pagrindo paviršiaus. Pagrindinis jo veikimo principas yra padalintas į tris etapus: valymą, išgarinimą ir nusodinimą.
1. Valymas
Prieš nusodinant garinamąjį nusodinimą, garinimo kamera turi būti išvalyta. Kadangi ant garinimo kameros paviršiaus gali būti oksidų, riebalų, dulkių ir kitų medžiagų, tai turės įtakos plėvelės kokybei. Valant dažniausiai naudojami cheminiai arba fiziniai metodai.
2. garinimas
Norima medžiaga kaitinama aukščiau lydymosi temperatūros, kad susidarytų dujinės molekulės. Tada dujinės molekulės vakuuminėje kameroje pašalinamos į garinimo kamerą. Šis procesas vadinamas garavimu. Temperatūra, slėgis ir garavimo greitis turi įtakos plėvelės sudėčiai, struktūrai ir savybėms.
3. Nusodinimas
Garinimo kameroje esančios dujinės medžiagos molekulės per vakuuminį vamzdį patenka į reakcijos kamerą, reaguoja su aktyvia medžiaga, o tada produktas nusėda ant pagrindo paviršiaus. Šis procesas vadinamas sedimentacija. Temperatūra, slėgis ir nusodinimo greitis taip pat turi įtakos plėvelės kokybei ir veikimui.
2. Taikymas
Vakuuminio dengimo mašinos plačiai naudojamos medžiagų mokslo, optikos, elektronikos ir kitose srityse.
1. Medžiagų mokslas
Vakuuminės dengimo mašinos gali paruošti plonas įvairių metalų, lydinių, oksidų, silikatų ir kitų medžiagų plėveles, plačiai naudojamos dangose, optinėse plėvelėse, optinėse atmintinėse, ekranuose, tranzistoriuose ir kitose srityse.
2. Optika
Vakuuminio dengimo mašina gali paruošti metalo ir lydinių plėveles su dideliu atspindžiu ir optines plėveles su specialiomis funkcijomis. Šios plėvelės gali būti naudojamos saulės kolektoriuose, didelio našumo elektroniniuose mikroskopuose, aerogeliuose, UV/IR jutikliuose, optiniuose filtruose ir kitose srityse.
3. Elektronika
Vakuuminės dengimo mašinos gali paruošti nanoskalės elektronines medžiagas ir mikroelektroninius prietaisus. Šios plėvelės gali būti naudojamos nanotranzistoriuose, magnetinėse atmintinėse, jutikliuose ir kituose laukuose.
Trumpai tariant, vakuuminio dengimo mašina gali ne tik paruošti įvairias plonasluoksnes medžiagas, bet ir pagal poreikį paruošti plonas plėveles su specialiomis funkcijomis. Ateityje vakuuminio dengimo technologija bus plačiau naudojama ir skatinama.